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PHT株式会社

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ウェーハ自動剥離装置世界トップクラスのシェアの当社は、これまでシリコンウェーハの搬送やレーザ加工技術を活用して次世代SiC(炭化ケイ素)やGaN(窒化ガリウム)材料をはじめ、化合物半導体向け搬送ソリューション(ロボット・搬送「搬送装置あるいは移載装置、EFEM、ソーター」・自動剥離洗浄装置・洗浄装置)を提案し、特にパワー半導体市場へ積極的にアプローチをしております。

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